반도체 및 디스플레이 산업의 차세대 소자 및 공정 기술 개발을 진행하는 전문 연구 그룹입니다.
특히 박막 증착(Thin Film Deposition) 기술을 중심으로 한 핵심 소재 및 소자 연구를 수행하고 있으며, ALD(Atomic Layer Deposition), CVD(Chemical Vapor Deposition) 기반의 고정밀 박막 형성과 그 특성 평가에 대한 연구를 진행하고 있습니다.
주요 연구 분야는 다음과 같습니다:
Oxide TFT 및 Flexible Display용 소자 기술 개발
OLED 및 Micro-LED 디스플레이 공정 및 재료 최적화
반도체 금속 배선 기술(MEOL/BEOL) 및 Barrier/Liner 구조 연구
High-k Gate Dielectric 및 Passivation Layer 형성 기술
ALD 기반 Ru, TiN, Al₂O₃, HfO₂ 등 고유전/금속 박막의 증착 메커니즘 분석
연구분야 키워드
#Atomic layer deposition
#display
#oxide semiconductor
#semiconductor
#Thin film transistor (TFT)
#원자층 증착법
연구실 지원 방법
jh0330@krcit.re.kr 이메일을 통한 사전 미팅 후 연구소 지원 시스템을 통한 지원