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에칭 단차 평가시 마스킹 방법 문의,,,

2025.09.25

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안녕하세요 현재 에칭 단차 평가를 위해 샘플 위에 캡톤 테이프 붙인 이후 , 플라즈마 노출 이후 알파 스텝 이나 AFM 으로 평가 하고 있습니다. 단차 측정에 문제가 있는데, 캡톤 테이프 잔여 물질이 미세하게 남아 있는 건지( 마스킹 했던 부위= 에칭 안된 부분이 높이가 일정하지 않고 높이가 제각각으로 변하거나 어떨때는 에칭 안된 부분 보다 높이가 낮게 나옴) 단차로 보이는 부분이 잘 나오지 않고 있습니다.
혹시 캡톤으로 마스킹 하시는 분 중에 비슷한 문제가 있으신 분 있으셨을까요?..
답변 주시면 감사하겠습니다.

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댓글 2개

2025.09.26

랩에 알려줄사람 없어요? 되게 간단한 문제인데..

대댓글 1개

2025.10.05

아무래도 에칭 쪽은 해본적이 없는 랩실이라 딱히 알려줄 사람은 없는거 같습니다..혹시 실례가 안된다면 이런 문제 해결하시는 방법 아실까요?

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